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干式螺杆泵ESDP

发布时间:2017-9-28 丨 阅读次数:2692 丨 文章来源:admin
干式螺杆泵ESDP
详细介绍
性能参数
最佳的极限压力完全无油无水
         沃尔姆ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排气温度低,工艺稳定,此产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了最佳的真空效率和耐用性。
         ESDP系列不使用油和水,用可变压缩方式操作,水蒸气和液态混合工艺,非常适合干燥,溶剂回收,化工,制药,塑料等各种真空工艺。       
优点及特征:
         吸入效率(提升15%)。
         排气效率改善(2级可变,连续可变频率)。
         极限压力:1*10-2Torr(托)。
         排气温度降低50%。
         电力消耗减少30%。
         不使用油和水,不会造成油和水的污染。
         低功耗、低噪音、低振动,动平衡好,没有惯性力,可高速运行。
         设计结构简单,易保养,维修费用低,没有易损件,寿命长。
         适用范围广,具有高真空性能。
         使用寿命长,气体接触部位都具有聚四氟乙烯、镍和哈氏合金涂层。
         不采用机械密封,密封部件无污染,不会因污染而频繁发生故障。
         前后采用稀有润滑方式,提高轴承耐用性。
标准配件:
         基座和防护罩
         排气消声器及进气分离器
         吸气口
         止回阀
         真空计
可选配件:
         吸滤器
         排气冷凝器
         吸入式气液分离器
         流量开关及温度开关
ESDP干式螺杆泵的应用范围:
         ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
         在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
         制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
         化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺
         工业排气;集中式真空处理系统
         挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
         混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物。
         涉及无忧污水真空处理的所有应用
         食品行业用于香料,香精浓度,食品包装等。
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